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| δ—函数在离子溅射热峰效应中的应用 | |
| 引用本文： | 陈慧力,陈慧凯.δ—函数在离子溅射热峰效应中的应用[J].山东工业大学学报,1999,29(3):241-245. |
| 作者姓名： | 陈慧力 陈慧凯 |
| 作者单位： | [1]济南教育学院数学系 [2]山东工业大学电子工程系 |
| 摘 要： | 热峰效应发生在离子束注入及激光表面材料处理过程中。引进了δ－函数来描述热峰在离子溅射中的效应，从经典的热传导方程出发，对球形热峰效应及圆柱形热峰效应作了特别讨论，发现不同形状的热峰在材料处理过程中会引起不同程度的非线性效应。 |
| 关 键 词： | 热峰 离子注入 δ－函数 材料表面处理 |
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