| 感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算 |
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| 引用本文： | 狄小莲,辛煜,宁兆元. 感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(Z1): 93-96 |
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| 作者姓名： | 狄小莲 辛煜 宁兆元 |
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| 作者单位： | 苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006 |
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| 摘 要： | 基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据.
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| 关 键 词： | 感应耦合等离子体 变压器模型 功率耦合效率 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)增-093-04 |
| 修稿时间： | 2004-12-01 |
Simulation of Inductively Coupled Plasma |
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| Di Xiaolian,Xin Yu,Ning Zhaoyuan. Simulation of Inductively Coupled Plasma[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(Z1): 93-96 |
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| Authors: | Di Xiaolian Xin Yu Ning Zhaoyuan |
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