| 分流法超高/极高真空校准装置性能研究 |
| |
| 引用本文： | 李得天,郭美如,邱家稳,李正海,成永军,冯焱,张涤新,赵光平,孙海. 分流法超高/极高真空校准装置性能研究[J]. 真空, 2007, 44(6): 1-6 |
| |
| 作者姓名： | 李得天 郭美如 邱家稳 李正海 成永军 冯焱 张涤新 赵光平 孙海 |
| |
| 作者单位： | 兰州物理研究所真空低温技术与物理国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
| |
| 摘 要： | 分流法超高／极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10^-10 Pa的极高真空；采用的分流法真空规校准方法，使压力校准下限延伸到了10^-10 Pa；利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，使用惰性气体校准时，减小了校准下限的不确定度；校准装置的校准范围为（10^4～10^-10）Pa，合成标准不确定度为1．5％～3．5％。
|
| 关 键 词： | 分流法 超高真空 极高真空 校准装置 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）06-0001-06 |
| 收稿时间： | 2007-07-08 |
| 修稿时间： | 2007-07-08 |
Characteristics of flow-separating calibrator for UHV/XHV |
| |
| LI De-tian,GUO Mei-ru,QIU Jia-wen,LI Zheng-hai,CHENG Yong-jun,FENG Yan,ZHANG Di-xin,ZHAO Guang-ping,SUN Hai. Characteristics of flow-separating calibrator for UHV/XHV[J]. Vacuum(China), 2007, 44(6): 1-6 |
| |
| Authors: | LI De-tian GUO Mei-ru QIU Jia-wen LI Zheng-hai CHENG Yong-jun FENG Yan ZHANG Di-xin ZHAO Guang-ping SUN Hai |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | flow separation UHV XHV calibrator |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
