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| 脉冲电弧蒸发源的研究 | |
| 引用本文： | 严一心 朱昌 杭凌侠 弥谦 蔡长龙 徐均琪 吴玲玲. 脉冲电弧蒸发源的研究[J]. 真空科学与技术学报, 2004, 24(Z1): 92-94 |
| 作者姓名： | 严一心 朱昌 杭凌侠 弥谦 蔡长龙 徐均琪 吴玲玲 |
| 作者单位： | 严一心（西安工业学院,西安,710032） 朱昌（西安工业学院,西安,710032） 杭凌侠（西安工业学院,西安,710032） 弥谦（西安工业学院,西安,710032） 蔡长龙（西安工业学院,西安,710032） 徐均琪（西安工业学院,西安,710032） 吴玲玲（西安工业学院,西安,710032） |
| 摘 要： | 本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标. |
| 关 键 词： | 脉冲电弧 蒸发源 离子镀 类金刚石膜 薄膜 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)增-092-03 |
Lab-Built Pulsed Arc Evaporator |
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