首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

微型光电机械系统（2）
作者姓名：王世昌
摘    要：微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分，本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。
关 键 词：微型光电机械系统 微光学技术 微机械 微电子集成系统
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号