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分类号
杂志ISSN号
一种测量光电器件膜厚的新方法——X光能谱法
作者姓名:
陶景光
廖兆曙
作者单位:
华中理工大学 430074(陶景光),华中理工大学 430074(廖兆曙)
摘 要:
光电薄膜器件的膜厚是一个重要性能参数,通常用干涉仪和椭圆偏振仪测量,但它受到了光波波长和透明度的限制。根据电子光学原理,应用现代X光能谱技术,在MonteCsrlo电子轨迹法推导的数学模型和函数的基
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