| 微机电系统的微细加工技术 |
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| 引用本文： | 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟. 微机电系统的微细加工技术[J]. 微纳电子技术, 2004, 41(11): 32-38 |
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| 作者姓名： | 孔祥东 张玉林 宋会英 卢文娟 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学控制学院电子束研究所,山东,济南,250061;东营职业学院,山东,东营,257091
2. 山东大学控制学院电子束研究所,山东,济南,250061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)，山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03) |
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| 摘 要： | 详细阐述了硅微加工工艺以及近几年内国际上开发的一些新的加工技术,如3D电化学微加工、EFAB工艺等,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。
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| 关 键 词： | 微细加工技术 电化学方法 3D电化学微加工 约束刻蚀剂层技术 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)11-0032-07 |
| 修稿时间： | 2004-04-06 |
MEMS micro-processing technologies |
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| KONG Xiang-dong,,ZHANG Yu-lin,SONG Hui-ying,LU Wen-juan. MEMS micro-processing technologies[J]. Micronanoelectronic Technology, 2004, 41(11): 32-38 |
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| Authors: | KONG Xiang-dong ZHANG Yu-lin SONG Hui-ying LU Wen-juan |
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| Affiliation: | KONG Xiang-dong1,2,ZHANG Yu-lin1,SONG Hui-ying1,LU Wen-juan1 |
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| Abstract: | Silicon micro-processing technology and other micro-processing technologies developed in recent years,such as electrochemical 3D micromachining technology and EFAB technology,are introduced in details. Finally some disadvantages about these technologies were put forward. |
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| Keywords: | micro-processing technology EFAB(electrochemical fabrication) electrochemical 3D micromachining technology CELT |
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