制造高压器件的容差阶梯台面腐蚀技术

本文介绍一种新型的高压器件表面造型技术，即容差阶梯台面腐蚀技术。它是在耦．耗尽刻蚀的基础上发展起来的。它利用耗尽刻蚀克服电场集中和表面效应的机理，采用常规工艺，通过两次基区扩散、两次台面腐蚀形成阶梯结构和阶梯台面，降低耗尽刻蚀对腐蚀深度的控制要求，使器件具有小角度负斜角的优良特性，同时采用内台面结构，便于玻璃钝化，使器件具有高性能和高可靠性。