一种在制造光掩模时蚀刻钼层的方法

本发明涉及一种钼圆片的加工方法，尤其是采用粉冶轧制的方法制取钼圆片的工艺方法。本发明工艺是在中和冲制工艺和锻压工艺的基础上设计的轧制工艺，将钼粉直接压制成钼圆片毛坯，烧结后轧制而成，其工艺流程图如下：钼粉→合批→压制钼圆片毛坯→烧结→轧制→车削外圆→磨光→化学处理→成品。