| 非致冷红外探测用VOx薄膜XPS价带谱研究 |
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| 引用本文： | 宁永功,刘爽,杨忠孝,詹思瑜,廖思舜,李华高. 非致冷红外探测用VOx薄膜XPS价带谱研究[J]. 半导体光电, 2005, 26(Z1): 91-93 |
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| 作者姓名： | 宁永功 刘爽 杨忠孝 詹思瑜 廖思舜 李华高 |
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| 作者单位： | 1. 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054
2. 重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VOx薄膜;结果表明该方法制备的VOx薄膜大多是不同价态的混合物,其物相、成分与氧分压密切相关.XPS价带谱研究发现VO2 δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测.
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| 关 键 词： | 非致冷红外探测 VOx薄膜 XPS 价带谱 非致冷 红外探测 薄膜 价带谱 技术研究 Infrared Detector Films Spectrum Band 发现 相关 压密 成分 混合物 不同价态 法制 结果 溅射制备 反应 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)S-0091-03 |
| 修稿时间： | 2004-11-22 |
XPS Valence Band Spectrum of VOx Films for Uncooled Infrared Detector |
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| NING Yong-gong,LIU Shuan,YANG Zhong-xiao,ZHAN Si-yu,LIAO Si-shun,LI Hua-gao. XPS Valence Band Spectrum of VOx Films for Uncooled Infrared Detector[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2005, 26(Z1): 91-93 |
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| Authors: | NING Yong-gong LIU Shuan YANG Zhong-xiao ZHAN Si-yu LIAO Si-shun LI Hua-gao |
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