| 梯度Ti1-xAlxN膜层的的制备与工艺性能 |
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| 引用本文： | 张会霞,陈劲松,杨建明,卢龙. 梯度Ti1-xAlxN膜层的的制备与工艺性能[J]. 材料科学与工程学报, 2013, 31(1): 118-121 |
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| 作者姓名： | 张会霞 陈劲松 杨建明 卢龙 |
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| 作者单位： | 淮海工学院,江苏连云港,222005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，江苏省海洋资源开发研究院开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀技术交互沉积工艺,使用合金靶与纯Ti靶在齿轮材料40Cr基体表面实现梯度Ti1-xAlxN膜层的制备,通过研究不同x值时梯度Ti1-xAlxN膜层的表面形貌、组织结构及膜层显微硬度、结合力等性能,探求较优的工艺参数配比。结果表明,在工艺参数相同的条件下,不同x值,梯度Ti1-xAlxN膜层厚度相差不大;显微硬度先随x值的增大而先增大后降低;结合力随x值的增大而降低,x值为0.67时梯度Ti1-xAlxN膜层综合性能最优。
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| 关 键 词： | 梯度膜层 工艺性能 Ti1-xAlxN |
Preparation and Technological Properties of Gradient Ti1-xAlxN Film |
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| ZHANG Hui-xia,CHEN Jin-song,YANG Jian-ming,LU Long. Preparation and Technological Properties of Gradient Ti1-xAlxN Film[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2013, 31(1): 118-121 |
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| Authors: | ZHANG Hui-xia CHEN Jin-song YANG Jian-ming LU Long |
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| Affiliation: | (College of Mechanical Engineering,Huaihai Institute of Technology,Lianyungang 222005,China) |
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