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影响CVD高纯钛工业化因素研究
作者姓名:王克功  韩涛  佘顺利  梁佰战
作者单位:贵州大学材料与冶金学院
摘    要:CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因。本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式。影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量。

关 键 词:CVD  高纯钛  工业化  沉淀速率  杂质含量
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