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测量薄膜材料n、H、d的简易方法及其在低温测量中的应用
引用本文:
冯伟亭,严义埙.测量薄膜材料n、H、d的简易方法及其在低温测量中的应用[J].红外与毫米波学报,1990,9(1).
作者姓名:
冯伟亭
严义埙
作者单位:
中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所 上海,200083,上海,200083
摘 要:
介绍了一种测定薄膜材料光学常数的简易方法,它的最大优点是只需要知道薄膜材料的透射光谱。薄膜的光学常数和厚度测试精度优于1%,并给出了PbTe、ZnSe薄膜在室温及低温下的折射率。
关 键 词:
薄膜材料
光学常数
PbTe
ZnSe
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