物理气相传输法SiC衬底上生长AlN单晶的研究进展 |
| |
引用本文: | 朱亚军,王国栋,俞瑞仙,曹文豪,王守志,胡小波,徐现刚,张雷.物理气相传输法SiC衬底上生长AlN单晶的研究进展[J].硅酸盐学报,2023(6):1439-1449. |
| |
作者姓名: | 朱亚军 王国栋 俞瑞仙 曹文豪 王守志 胡小波 徐现刚 张雷 |
| |
作者单位: | 山东大学,新一代半导体材料研究院,晶体材料国家重点实验室 |
| |
基金项目: | 山东省自然科学基金(ZR2022QF044);;国家自然科学基金(51872164,52202265); |
| |
摘 要: | 氮化铝(AlN)是直接带隙半导体,具有超宽禁带宽度(6.2 eV)、高热导率3.2 W/(cm·K)]、高表面声波速率(VL=10.13×105 cm/s,VT=6.3×105 cm/s)、高击穿场强和稳定的物理化学性能,是紫外/深紫外发光材料的理想衬底,由此制作的AlxGa1–xN材料,还可以实现200~365 nm波段内的连续发光;可以制作耐高压、耐高温、抗辐射和高频的电子器件,是具有巨大潜力的新一代半导体材料。本文介绍了物理气相传输法异质外延生长AlN单晶的原理,并从碳化硅(Si C)衬底上AlN单晶生长研究历程、Al N/SiC衬底生长AlN晶体以及偏晶向SiC衬底生长AlN晶体3个方面综述了SiC衬底上异质外延生长AlN晶体的研究进展。最后简述了SiC衬底上生长AlN单晶面临的挑战和机遇,展望了AlN材料的未来发展前景。
|
关 键 词: | 氮化铝单晶 碳化硅衬底 物理气相传输法 异质外延 |
|
|