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微波毫米波用低介电常数低温共烧陶瓷研究进展
作者姓名:王威  张玲  吴亚光  乔峰  史忠旗  刘文凤  周迪
作者单位:西安交通大学电信学部电子科学与工程学院,西安 710049;西安交通大学电信学部电子科学与工程学院,西安 710049;成都宏科电子科技有限公司,成都 610101;河北半导体研究所,石家庄 050051;西安交通大学材料科学与工程学院,西安 710049;西安交通大学电气工程学院,西安 710049
基金项目:国家自然科学基金项目(51972260,52072295);;中央高校基本科研业务费;
摘    要:在新一代高速无线通信技术推动下,低温共烧陶瓷技术(LTCC)正处于重大变革时期。采用低介电常数(K)、低损耗、谐振频率温度稳定型LTCC作为高频基板材料,可以满足无线技术高速率、低延时、高可靠的需求,是当前热点研究之一。因此商用基板材料的现状和一些候选材料的研究工作被主要评述,重点对玻璃/陶瓷体系、氧化物助烧体系、氟化物助烧体系、本征低温烧结体系等低K值LTCC材料的组成、结构特征、介电性能、热膨胀系数等具体指标及相应优缺点进行了讨论。同时介绍了一些热门体系的改性工作及其毫米波适用性,最后对未来低K值LTCC材料的发展进行展望。

关 键 词:微波/毫米波  高频基板  低介电常数  低温共烧陶瓷技术  介电性能
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