| HIWIN LM直线电动机在半导体业中的应用 |
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| 引用本文： | 丝国一. HIWIN LM直线电动机在半导体业中的应用[J]. 制造技术与机床, 2006, 0(7): 32-34 |
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| 作者姓名： | 丝国一 |
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| 作者单位： | 大银微系统股份有限公司 |
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| 摘 要： | 直线电动机除具有高速、高精度的特点外，还有低磨耗、无背隙、结构简单、单轴多动子控制，运动平稳及行程无限等优点；近年来广泛应用于平面液晶显示器、半导体集成电路、印刷电路板、太阳能等高科技生产设备上。如平面液晶显示器的面板检测机、激光修补机，印刷电路板的插件机、电路板钻孔机、组件／电路板检测机、半导体集成电路的焊线机、粘晶机、晶圆检测机、晶圆激光切割机、精密注胶机，以及太阳能发电面板生产及检测设备。
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| 关 键 词： | 直线电动机 半导体业 应用 平面液晶显示器 半导体集成电路 印刷电路板 激光切割机 太阳能发电 生产设备 检测机 |
| 修稿时间： | 2006-04-13 |
Application of Linear Motor HIWIN LM in Semi-conduction Industry |
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| SI Guoyi. Application of Linear Motor HIWIN LM in Semi-conduction Industry[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2006, 0(7): 32-34 |
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| Authors: | SI Guoyi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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