| 高低温环境对三轴高 g 值加速度传感器灵敏度变化影响研究 |
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| 引用本文： | 乔诗翔,李豪杰,于航,陈志鹏. 高低温环境对三轴高 g 值加速度传感器灵敏度变化影响研究[J]. 仪器仪表学报, 2023, 44(5): 240-248 |
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| 作者姓名： | 乔诗翔 李豪杰 于航 陈志鹏 |
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| 作者单位： | 1.南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室 |
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| 摘 要： | 针对高低温环境对高 g 值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。 通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃ ~ 50℃范围内,传感器灵敏度随温度的增加而减小,且在-40℃ ~ 20℃ 范围内灵敏度变化较快,在 20℃ ~ 50℃ 范围内灵敏度变化较慢。 通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据,-40℃条件下灵敏度大小为 0. 523 μV/ g;50℃ 条件下灵敏度大小为 0. 516 μV/ g。 与仿真结果进行对比,验证了温度变化对传感器灵敏度的影响规律,为提升高 g 值加速度传感器在高低温环境下测量精度具有理论参考意义。
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| 关 键 词： | 高 g 值加速度传感器 压阻式 高低温 灵敏度 |
Research on the influence of high and low temperature environmenton the sensitivity change of three-axis high-g accelerometer |
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| Qiao Shixiang,Li Haojie,Yu Hang,Chen Zhipeng. Research on the influence of high and low temperature environmenton the sensitivity change of three-axis high-g accelerometer[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2023, 44(5): 240-248 |
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| Authors: | Qiao Shixiang Li Haojie Yu Hang Chen Zhipeng |
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| Affiliation: | 1.ZNDY of Ministerial Key Laboratory, Nanjing University of Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high-g accelerometer piezoresistive accelerometer high and low temperature sensitivity |
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