| 基于电涡流的多周期双极直线位移传感器 |
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| 引用本文： | 瞿金晨,郭赫男,李 杰,程灏彬,闻小龙. 基于电涡流的多周期双极直线位移传感器[J]. 仪器仪表学报, 2023, 44(5): 260-266 |
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| 作者姓名： | 瞿金晨 郭赫男 李 杰 程灏彬 闻小龙 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学数理学院，2. 北京市弱磁检测及应用工程技术研究中心，3. 传感技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(62031025)、传感技术联合国家重点实验室基金(SKT2105)项目资助 |
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| 摘 要： | 传统的基于电涡流的多周期位移传感器由于输出信号的周期重复性,难以解决断电重启后的绝对位置识别问题。 提出一种基于电涡流的新型双极直线位移传感器。 经过理论与仿真分析,验证了随着滑片的滑动,接收线圈中感应电压的幅值呈现正余弦变化。 设计了双极敏感结构,通过上极多周期接收线圈保证位移的精确测量。 下极布置单周期接收线圈对上级所处周期进行识别。 通过感应信号偏移及幅值归一化处理算法提高精度,在实验室搭建传感器样机,以高精度电控平移台进行测试。经测试,新型多周期双极电涡流直线位移传感器可以实现绝对位置测量,在 0~ 60 mm 量程内测量误差为 30 μm,最大非线性为0. 08% 。 突破了传统多周期涡流式位移传感器绝对位置无法识别的局限。
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| 关 键 词： | 电感式传感器 直线位移传感器 多周期 绝对位置 |
Multicycle bipolar linear displacement sensor based on eddy current |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inductive sensor linear displacement sensor multi-cycle absolute position |
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