| Ta表面氧含量的调控及Pd/Ta复合膜的制备研究 |
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| 引用本文： | 李广忠,王昊,李亚宁.Ta表面氧含量的调控及Pd/Ta复合膜的制备研究[J].稀有金属材料与工程,2023,52(7):2505-2510. |
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| 作者姓名： | 李广忠 王昊 李亚宁 |
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| 作者单位： | 西北有色金属研究院,西北有色金属研究院,西北有色金属研究院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目(2016YFB0600100),西北有色金属研究院重点科技项目 (YK2020-11) |
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| 摘 要： | 以Ta箔为研究对象，分别采用机械抛光和化学抛光的方法进行了Ta箔表面氧含量的调控研究，研究结果表明，机械抛光目前较难获得相对“洁净”的Ta表面，需结合氩离子溅射才可以获得氧含量很低的Ta膜；化学抛光能获得相对“洁净”的Ta表面。Ta箔表面经化学抛光处理后，进行Pd/Ta复合膜的化学镀制备研究。通过控制化学镀的时间，在Ta箔表面获得了完整均匀且无孔洞的Pd膜，该Pd膜的厚度约2.8μm。
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| 关 键 词： | Ta 表面处理 Pd/Ta复合膜 化学镀 |
| 收稿时间： | 2022/6/14 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/5/10 0:00:00 |
Regulation of oxygen content on Tantalum surfaces and fabrication of Pd/Ta composite membrane |
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| Li Guangzhong,Wang Hao and Li Yaning.Regulation of oxygen content on Tantalum surfaces and fabrication of Pd/Ta composite membrane[J].Rare Metal Materials and Engineering,2023,52(7):2505-2510. |
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| Authors: | Li Guangzhong Wang Hao and Li Yaning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Tantalum Surface treatment Pd/Ta composite film Electroless plating |
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