矢流洁净室的模型实验研究

本文对矢流洁净室进行了模型实验研究。建立了矢流洁净室模型实验台,实测了矢流洁净室的速度场和浓度场,并测出矢流洁净室的气流流型。对实验结果进行分析和比较,得出矢流洁净室室内流场的基本特点。浓度场的实验结果表明,矢流洁净室可以达到较高级别的洁净度。矢流洁净室可应用于实际工程中。