| FCVA法沉积的超薄类金刚石薄膜的结构与热稳定性 |
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| 引用本文： | 陈莲华,车晓舟,王平,马洪涛,方宏新. FCVA法沉积的超薄类金刚石薄膜的结构与热稳定性[J]. 真空科学与技术学报, 2009, 29(3). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.20 |
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| 作者姓名： | 陈莲华 车晓舟 王平 马洪涛 方宏新 |
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| 作者单位： | 1. 华南理工大学,材料科学与工程学院,广州,510640
2. 东莞新科磁电制品厂,东莞,523087 |
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| 摘 要： | 采用FCVA方法沉积了厚度分别为2nm、5nm、10nm和30nm的类金刚石薄膜.在氩气保护下对类金刚石薄膜进行了180、300、400和600℃,保温6h的退火处理.用Raman光谱和宽光谱变角度椭偏仪研究了DLC薄膜的结构和热稳定性.实验结果表明,随着薄膜厚度增大,FCVA法沉积的DLC薄膜中的sp3键含量增加,薄膜热稳定性逐渐改善.当DLC薄膜的厚度为30nm时,薄膜中的sp3键含量达到最高值,薄膜具有最好的热稳定性.当退火温度为600℃时,厚度为2nm和5nm的DLC薄膜结构由非晶态转变为微晶态;厚度为10nm和30nm的DLC薄膜结构发生转变但仍保持非晶态.随着退火温度的升高,各个厚度的DLC薄膜的光学带隙Eg均先增大后减小.
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 结构 热稳定性 |
Structural and Thermal Stabilities of Ultrathin Diamond-Like Carbon Films by Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition |
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| Chen Lianhua,Che Xiaozhou,Wang Ping,Ma Hongtao,Fang Hongxin. Structural and Thermal Stabilities of Ultrathin Diamond-Like Carbon Films by Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2009, 29(3). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.20 |
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| Authors: | Chen Lianhua Che Xiaozhou Wang Ping Ma Hongtao Fang Hongxin |
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