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用能谱技术确定基体薄涂层的厚度
引用本文:冯显灿.用能谱技术确定基体薄涂层的厚度[J].材料保护,1999(10).
作者姓名:冯显灿
摘    要:提出一种不用标样确定基体薄涂层厚度并同时得到薄膜成分的新方法,通过理论计算,得出在不同涂层厚度下,涂层与基体的特征X射线相对强度比Ic/Is,并作出理论曲线。然后用能谱技术测出Ic/Is,可由理论曲线得出相应的涂层厚度,经实验证明该方法可行。用能谱技术确定基体薄涂层的厚度@冯显灿

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