压电式微位移机构的现状与趋势

在精密和超精密加工与测量、大规模集成电路制造、微型机械制造、扫描隧道显微镜微测量以及精密光学工程等诸多尖端科技领域中，当运动分辩率达到亚微米级或纳米级时，压电式微位移机构在微进给定位上体现出了自身的优势。本文在介绍压电材料驱动原理的基础上，重点介绍了国内外压电式微位移机构的研究现状和一些典型样机。比较了压电式微位移机构的特点．提出了压电式微位移机构研究方向和应用趋势及应注重的问题。