| 摘 要： | 混合放电是一种非常有前途的臭氧发生形式,为了揭示混合放电臭氧高效发生机理,采用有限元方法数值求解了静电场的Poisson方程,并结合Bolsig+编码求解了电子Boltzmann方程,从而对混合放电高效臭氧发生器进行了电场和电子能量分析。研究结果表明:在无网孔和远离网孔的区域,电场分布比较均匀,而在有网孔存在的区域附近,电场强度表现出剧烈的波动现象;IESDO类型、CESDO类型和CISDO类型这3种类型混合放电臭氧发生器在内放电空间的平均折合电场强度分别为420.5 Td、409.1 Td和731.6 Td,平均电子能量分别为9.946 e V、9.778 e V和15.74 e V;在外放电空间的平均折合电场强度分别为391.3 Td、213.5 Td和184.1 Td,平均电子能量分别为9.497 e V、6.457 e V、5.799 e V;对IESDO类型混合放电臭氧发生器内外放电空间分别进行单独模拟时的电场强度基本与整体模拟一致。由于外放电空间在臭氧产生过程中取决定性作用,因此从电子能量分布角度分析,3种类型混合放电臭氧发生器的优劣排序为IESDO类型CESDO类型CISDO类型,与实验结果相符合。另外,性能最好的IESDO类型混合放电臭氧发生器的放电间隙中电场强度并没有因为电极数目的增多而产生叠加现象。
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