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| 三氯氢硅精馏工艺改造浅析 | |
| 作者姓名： | 李刚 |
| 作者单位： | 宁夏石嘴山市国电宁夏太阳能有限公司,宁夏石嘴山,753200 |
| 摘 要： | 通过对原设计改良西门子合成粗氯硅烷精馏工艺的改造,确保了整个工艺系统连续稳定地生产出高纯度硅料的三氯氢硅中间体,同时较原工艺年节约成本约1400万。 |
| 关 键 词： | 三氯氢硅 精馏 工艺改造 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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