| 基于神经网络方法的半导体生产工艺优化 |
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| 引用本文： | 王向东,陈咏梅,王守觉,石林初. 基于神经网络方法的半导体生产工艺优化[J]. 半导体学报, 2000, 21(2) |
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| 作者姓名： | 王向东 陈咏梅 王守觉 石林初 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所人工神经网络课题组北京 100083
2. 华晶电子集团公司双极设计所无锡 214035 |
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| 摘 要： | 以提高生产成品率为目标，利用神经网络的非线性和容错性，对半导体芯片生产过程进行了分析和优化，具体内容如下：(1)使用神经网络方法建立模型，确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系，构造以工艺参数为输入，成品率为输出的多维函数曲面.(2)对上述多维函数曲面进行搜索，搜索成品率最高的最优点，以该最优点的工艺参数值为依据确定工艺参数的规范值.(3)对工艺参数规范进行优化，在实际生产工艺中反复实践，直至达到提高成品率的目的.生产实践证明，神经网络的分析结果是合理的.根据神经网络分析提出的优化建议，有效地提高了工序能力指数和产品成品率的一致性，具有实际应用价值.
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| 关 键 词： | 半导体生产 工艺优化 神经网络 |
Neural Network-Based Optimization of VLSI Wafer Fabrication |
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