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| 电感耦合高频等离子体光源实验技术 | |
| 引用本文： | 张裕生.电感耦合高频等离子体光源实验技术[J].机械,1981(4). |
| 作者姓名： | 张裕生 |
| 作者单位： | 四川省冶金研究所 |
| 摘 要： | 等离子体技术的发展,迄今为止,大约已经提出了三种等离子体光谱光源。一是双电极直流等离子体喷焰,二是微波等离子体,三是电感耦合高频等离子体(简称 ICP)。其中以 ICP 作为光谱光源较其他两种等离子体具有更多的优点,应用最为广泛,本文仅就 ICP 光源作论述。一、ICP 光源的发展概况早在1942年 Babat 发表了他用高频磁场激发的涡流无极放电形成等离子体条件的研究成果。实用的 ICP 装置是 Reed 在 |
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