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莱宝公司及其旋片真空泵
引用本文:
严增濯.莱宝公司及其旋片真空泵[J].光电技术,1996,37(1):18-30.
作者姓名:
严增濯
摘 要:
电光源和电子管都需要真空设备,优质的真空泵可以制出高性能的器件。本文介绍了机械真穴泵的一些新技术详细介绍了德国莱宝公司的旋片真空泵的种类。
关 键 词:
机械真空泵
真空技术
真空设备
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