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提高热分解淀积SiO_2质量的方法

作者姓名：	毛兴武

摘要：	当把正硅酸乙酯的源温控制在13℃左右时,其热分解速率大大降低,所淀积的SiO_2的致密性和对扩散杂质的掩蔽能力大大提高,可
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