| ITO靶材第二相的提取方法与分析 |
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| 引用本文： | 杨硕,薛建强,师琳璞. ITO靶材第二相的提取方法与分析[J]. 材料开发与应用, 2019, 34(1): 45-49 |
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| 作者姓名： | 杨硕 薛建强 师琳璞 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳,471023;中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳,471023;中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳,471023 |
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| 基金项目： | 国家战略性新兴产业发展专项 |
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| 摘 要： | 通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In_4Sn_3O_(12),B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In_4Sn_3O_(12)和"窄片"In_2SnO_5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。
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| 关 键 词： | ITO靶材 腐蚀产物 第二相 靶材黑化 |
Methods of Extracting and Analyzing of Second-phase of ITO Target |
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