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| 关于Cu-Au合金溅射机制的研究 | |
| 引用本文： | 王震遐,朱福英,陈文彪,曹德新,周祖尧,张衡山,张阿虎.关于Cu-Au合金溅射机制的研究[J].核技术,1985(6). |
| 作者姓名： | 王震遐 朱福英 陈文彪 曹德新 周祖尧 张衡山 张阿虎 |
| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所 (王震遐，朱福英，陈文彪，曹德新)，中国科学院上海冶金研究所 (周祖尧)，上海半导体器件研究所 (张衡山)，上海半导体器件研究所(张阿虎) |
| 摘 要： | 本文报导了用热中子活化分析法测量在不同剂量Ar~+离子轰击下Cu-Au合金的溅射产额 |
| 关 键 词： | 择优溅射 热中子活化 卢瑟福背散射 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |