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| 容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究 | |
| 引用本文： | 黄建军,刘正之,梁荣庆,D.Teuner. 容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究[J]. 真空科学与技术学报, 2002, 22(6): 408-411 |
| 作者姓名： | 黄建军 刘正之 梁荣庆 D.Teuner |
| 作者单位： | 1. 深圳大学理学院,广东省,深圳市,518060;中国科学院等离子体物理研究所,230031 2. 中国科学院等离子体物理研究所,230031 3. 德国鲁尔大学电子工程与信息技术系,德国波鸿,D-44780 |
| 基金项目： | 广东省自然科学基金资助项目 (No.980 92 2 ) |
| 摘 要： | 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线 ,在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度 ,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。 |
| 关 键 词： | 容性耦合射频放电 等效电路模型 放电特性 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)06-0408-04 |
| 修稿时间： | 2002-02-27 |
Experimental Study of Electrical Characteristics of CCRF Discharge |
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| D.Teuner. Experimental Study of Electrical Characteristics of CCRF Discharge[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2002, 22(6): 408-411 | |
| Authors: | D.Teuner |
| Abstract: | The characteristics of a capacitively coupled radio frequency (CCRF) laser discharge plasma reactor,including its total impedance,its current voltage characteristics,the dependence of the plasma bulk resistivity and capacitive impedance on gas pressure and discharge current density,were experimentally studied with a lab made probe and devices.By means of Godyak RF discharge model,the electron density of the plasma was calculated for discharges at different pressures and current densities. |
| Keywords: | CCRF discharge Equivalent electrical circuit model Electrical characteristics |
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