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| 利用激光刻蚀技术提高Ba_(0.5)Sr_(0.5)Co_(0.8)Fe_(0.2)O_(3-δ)膜的透氧能力(英文) | |
| 作者姓名： | 申梓刚 路朋献 胡行 |
| 作者单位： | （1.郑州大学物理工程学院，郑州450045；2.河南工业大学材料科学与工程学院，郑州450007） |
| 摘 要： | 利用激光刻图机对Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ(BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀,以提高膜表面的比表面积,改善膜的氧表面交换能力,从而达到提高透氧量的目的.研究结果表明,激光刻蚀在膜表面形成宽150μm,深25μm的条纹,可以显著提高膜表面的比表面积.XRD图谱显示,激光刻蚀不会引起BSCFO相结构的变化.透氧量测试表明,激光刻蚀可以增大透氧量,十字交叉双面刻蚀效果更加显著.十字交叉双面刻蚀后,其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%. |
| 关 键 词： | 透氧膜；激光刻蚀；比表面积；透氧量 |
| 收稿时间： | 2009-07-07 |
| 修稿时间： | 2009-09-17 |
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