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| 掺锑Zn-Sn-O透明导电膜的制备及特性 | |
| 引用本文： | 黄树来,马瑾,盖凌云,姜永超,计峰,马洪磊,余旭浒. 掺锑Zn-Sn-O透明导电膜的制备及特性[J]. 太阳能学报, 2005, 26(5): 626-630 |
| 作者姓名： | 黄树来 马瑾 盖凌云 姜永超 计峰 马洪磊 余旭浒 |
| 作者单位： | 1. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100;莱阳农学院理学院,莱阳,265200 2. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 3. 莱阳农学院理学院,莱阳,265200;石油大学资源与信息学院,昌平,102249 4. 莱阳农学院理学院,莱阳,265200 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60276044)教育部科学技术研究重点项目资助(重点02165) |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射技术在7059玻璃衬底上低温制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明 导电膜。研究了制备薄膜的结构、成分、电学和光学特性以及退火温度对薄膜性能的影响。Zn-Sn-P:Sb透明导 电膜的电阻率为1．5×10-2Ω·cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为8．0×1019cm-3,5.8cm2·v-1·s-1。薄膜的 可见光平均透过率达到了85％。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 Zn-Sn-O:Sb膜 光电性质 |
| 文章编号： | 0254-0096(2005)05-0626-05 |
| 修稿时间： | 2004-03-16 |
THE PREPARATION AND PROPERTIES FOR ANTIMONY-DOPED Zn-Sn-O FILMS |
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| Huang Shulai,Ma Jin,Gai lingyun,Jiang Yongchao,Ji Feng,Ma Honglei,Yu Xuhu. THE PREPARATION AND PROPERTIES FOR ANTIMONY-DOPED Zn-Sn-O FILMS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2005, 26(5): 626-630 | |
| Authors: | Huang Shulai Ma Jin Gai lingyun Jiang Yongchao Ji Feng Ma Honglei Yu Xuhu |
| Abstract: | |
| Keywords: | magnetron sputtering Zn-Sn-O:Sb film opto-electrical properties |
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