压力传感器的应力计算 |
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引用本文: | 周倜 李格 等. 压力传感器的应力计算[J]. 江苏石油化工学院学报, 2002, 14(4): 47-49 |
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作者姓名: | 周倜 李格 等 |
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作者单位: | 江苏石油化工学院功能材料实验室,江苏石油化工学院,江苏石油化工学院功能材料实验室 江苏常州213016,江苏常州213016 |
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摘 要: | 从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0 09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%。
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关 键 词: | 板壳理论 压力传感器 应力计算 |
Stress Calculation of Pressure Sensor |
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Abstract: | |
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Keywords: | plate-shell theory stress calculation pressure sensor |
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