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杂志ISSN号
TiO2/SiO2复合薄膜的光学性能研究
引用本文:
贾曦,刘洋溢.TiO2/SiO2复合薄膜的光学性能研究[J].中国科技博览,2013(18):417-418.
作者姓名:
贾曦
刘洋溢
作者单位:
[1]乐山职业技术学院,四川乐山614000 [2]浙江理工大学,浙江杭州310018
基金项目:
国家自然科学基金资助项目(50672088,60571029).
摘 要:
本文采用射频磁控溅射方法制备了TiO2/SiO2复合薄膜。采用XRD、台阶仪和UV—ViS等测试手段表征薄膜的晶体结构、膜厚和光学性能。系统研究了溅射气氛、溅射时间以及踺掺杂量对TiO2/SiO2复合薄膜光学性能的影响。结果表明,TiO2/SiO2薄膜对紫外波段光波吸收强度与溅射时间成正比,与氧气含量成反比。随着氧气含量的降低,薄膜的光波吸收限?g向长波方向移动,即吸收波长呈现出明显的“红移”。随着Si、Ti摩尔比的增加,薄膜的光波吸收限?g向短波方向移动,即吸收波长呈现出明显的“蓝移”。
关 键 词:
TiO2
SiO2复合薄膜(TiO2
SiO2
composite
films)
射频磁控溅射(RF
magnetron
sputtering)
光学性能(0ptical
properties)
晶体结构(crystal
structure)。
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