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| TiO2／SiO2复合薄膜的光学性能研究 | |
| 引用本文： | 贾曦,刘洋溢.TiO2／SiO2复合薄膜的光学性能研究[J].中国科技博览,2013(18):417-418. |
| 作者姓名： | 贾曦 刘洋溢 |
| 作者单位： | [1]乐山职业技术学院,四川乐山614000 [2]浙江理工大学,浙江杭州310018 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（50672088,60571029）. |
| 摘 要： | 本文采用射频磁控溅射方法制备了TiO2／SiO2复合薄膜。采用XRD、台阶仪和UV—ViS等测试手段表征薄膜的晶体结构、膜厚和光学性能。系统研究了溅射气氛、溅射时间以及踺掺杂量对TiO2／SiO2复合薄膜光学性能的影响。结果表明，TiO2／SiO2薄膜对紫外波段光波吸收强度与溅射时间成正比，与氧气含量成反比。随着氧气含量的降低，薄膜的光波吸收限？g向长波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“红移”。随着Si、Ti摩尔比的增加，薄膜的光波吸收限？g向短波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“蓝移”。 |
| 关 键 词： | TiO2 SiO2复合薄膜（TiO2 SiO2 composite films） 射频磁控溅射（RF magnetron sputtering） 光学性能（0ptical properties） 晶体结构（crystal structure）。 |
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