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| 机床与加工科技信息 | |
| 摘 要： | 86141 DWC 4 型数字式超精密振动──位移测量仪 本仪器是一种数字式超精密电容不接触原理的振动──位移测量仪器。具有以下特点: 1 .4 位数字显示,最高分辨率0.005μm,各显程与分辨率:300.0/0.5μm ; 30.00/0.05μm 3.000/0.005μm 2.测量频率范围:0-7.5kHz。 3.对球面测显对象具有非线性补偿作用,非线性<10%。 4.仪器具有模拟量输出接口 (±5.1V,±20 mA)与数字输出接口。 5.具有零漂小,抗干扰能力强,精度保持好等优点。 86142超精密轴系的研究 经过对超精密轴系的研究,研制成功一种空气静压轴系。主轴径向迴转精度达到 0.025 μm ,… |
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