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适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪
引用本文:李彬,梁晋文.适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪[J].仪器仪表学报,1996,17(6):658-661.
作者姓名:李彬  梁晋文
作者单位:东南大学机械系,清华大学精仪系
摘    要:适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬,梁晋文(东南大学机械系南京210018)(清华大学精仪系北京100084)0引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念,可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下,延长干涉测量的非多值区间(unambiguous...

关 键 词:激光外差干涉仪  干涉仪  测量
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