系列PVC膜离子半导体敏感器件的研制 |
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引用本文: | 黄德培,朱春生,付庭治,施友纯,陆宗寰,吴瑶.系列PVC膜离子半导体敏感器件的研制[J].化学传感器,1986(1). |
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作者姓名: | 黄德培 朱春生 付庭治 施友纯 陆宗寰 吴瑶 |
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作者单位: | 南京大学,南京大学,南京大学,南京大学,常熟半导体器件厂,常熟半导体器件厂 |
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摘 要: | 一、引言自从1970年Bergveld将MOS场效应晶体管的金属栅去掉,让绝缘层(SiO_2或Si_3N_4)与溶液相接触,发现它对溶液中Na~+,H~+能产生响应,从而研制成功了H~+、Na~+半导体敏感器件(简称ISFET)。并用于生物体内Na~+、H~+活度的测定。继后引起了许多国内
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