| An Air-Breathing Micro Direct Methanol Fuel Cell with 3D KOH-Etched Cathode Structure |
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| 引用本文： | Jiang Yingqi,Wang Xiaohong,Zhong Lingyan,Liu Litian. An Air-Breathing Micro Direct Methanol Fuel Cell with 3D KOH-Etched Cathode Structure[J]. 半导体学报, 2006, 27(3): 478-481 |
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| 作者姓名： | Jiang Yingqi Wang Xiaohong Zhong Lingyan Liu Litian |
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| 作者单位： | 清华大学微电子研究所，北京 100084;清华大学微电子研究所，北京 100085;清华大学微电子研究所，北京 100086;清华大学微电子研究所，北京 100087 |
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| 摘 要： | 报道了一种利用MEMS技术制作的微型直接甲醇燃料电池.其特点在于,利用KOH体硅腐蚀和双面光刻工艺制作了一种独特的三维自吸氧阴极结构.分析了MEMS制作工艺的改进.实验结果表明,该电池室温下产生了2.52mW/cm2的最大功率.此性能好于国外报道的同类基于MEMS技术制作的被动式微型直接甲醇燃料电池,并同本课题组之前报道的需使用外部泵的主动式微型直接甲醇燃料电池性能相当,证明了文中提出的新结构的可行性.
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| 关 键 词： | 微型直接甲醇燃料电池 自呼吸 体硅腐蚀 微机电系统 微型能源 μDMFC air breathing bulk etching MEMS micro power source MEMS 自呼吸式 微型直接甲醇燃料电池 Structure Cathode Direct Methanol Fuel Cell feasibility configuration external pump comparable active performance better passive room temperature experimental results show maximum |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)03-0478-04 |
| 收稿时间： | 2005-09-30 |
| 修稿时间： | 2005-12-20 |
An Air-Breathing Micro Direct Methanol Fuel Cell with 3D KOH-Etched Cathode Structure |
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| Jiang Yingqi,Wang Xiaohong,Zhong Lingyan and Liu Litian. An Air-Breathing Micro Direct Methanol Fuel Cell with 3D KOH-Etched Cathode Structure[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(3): 478-481 |
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| Authors: | Jiang Yingqi Wang Xiaohong Zhong Lingyan Liu Litian |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100085,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100086,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100087,China |
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| Abstract: | |
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