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| 论复合真空计对0．1Pa真空度的测量 | |
| 引用本文： | 吴耀东.论复合真空计对0．1Pa真空度的测量[J].中国计量,2001(2):46-47. |
| 作者姓名： | 吴耀东 |
| 作者单位： | 天津市信息产业部电子第十八研究所 |
| 摘 要： | 在工业生产、科研院所等部门,电子复合真空计被广泛用于真空镀膜机、热处理真空炉等真空设备中。电子复合真空计是真空计量仪器。我们以较为常用的北京兴华真空仪表厂生产的ＪＦ型、ＦＺｈ型复合真空计和四川成都仪器厂生产的ＷＺＫ型复合真空计为例,讨论一下复合真空计在０１Ｐａ及其附近位置,真空度测量状况及其特点。根据复合真空计产品说明书中技术条件,多数复合真空计热偶计部分的真空度测量范围一般为２０Ｐａ～０．１Ｐａ,电离计部分的真空度测量范围为１０×１０-１Ｐａ～１０×１０-５Ｐａ。这里,我们注意到,１０×１０-１Ｐａ这一… |
| 关 键 词： | 复合真空计 0.1Pa真空度 测量 热偶计 电离计 |
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