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| 用激光制造高质量光学薄膜 | |
| 作者姓名： | 徐新明 |
| 摘 要： | 该项新技术,系东洋大学教授村山洋一的研究成果,它是根据可以制成粘合性、硬度好薄膜的高频离子喷镀技术,进一步使光学薄膜的激光弹性极限应力大幅度提高,用激光制造光学薄膜的一种技术。以往光学薄膜的激光屈服点小,为4～6J/cm~2,在提高激光系统的高输出功率时,进一步提高光学薄膜的激光屈服点,便成为一重大科研课题。对于制造大量用于包括高输出激光系统在内的半导体加工等的YAG激光器和钕玻璃激光器用的光学元件,针对有关膜形成技术,以 |
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