半导体型乙醇传感器研究近况

气体传感器在现代科学技术领域发挥着重要作用，它们被广泛用于公共安全、污染监测、呼吸分析、智能家居等。由于其低成本、高灵敏度、易制造的优势，促使众多研究人员对气体传感器展开广泛研究。尤其是金属氧化物半导体(MOS)型气体传感器，此类传感器可检测150多种有毒有害气体，对具有易挥发、易燃易爆性质的乙醇(C₂H₅OH)有机挥发性气体(VOCs)具有良好的气敏特性。本文回顾了近一年来最先进的MOS电阻型乙醇传感器，详细阐述了传感器对乙醇气体的传感机制；重点介绍了不同MOS型传感器对乙醇的敏感特性，分析了诸如金属掺杂、异质结复合材料以及MOS分等级结构对乙醇传感器性能的影响。通过分析可得，SnO₂、ZnO基传感器对乙醇的传感性能最佳，特别是经金属掺杂和由不同导电类型半导体构建的异质结MOS传感器。