95%高双面率异质结太阳电池的叠层减反射研究

本文通过PV Lighthouse模拟了硅片厚度(从50μm至200μm)对晶硅异质结(SHJ)太阳电池的光学吸收及光生电流密度的影响，剖析了电池柔性化面临的瓶颈问题，并模拟了不同厚度的TCO/MgF₂与TCO/SiO₂减反射结构，获得了最佳光生电流密度。通过热蒸发制备了MgF₂薄膜，射频磁控溅射制备了SiO₂薄膜，经过优化构建了具有高透过率(92.56%)的MgF₂/SiO₂叠层减反射结构，将器件入光面反射率从6.70%降低至5.46%。在SHJ电池背面应用MgF₂/SiO₂叠层减反射结构，正面辅以单层SiO₂或MgF₂减反射薄膜，背面入光时的外部量子效率(EQE)显著提高了2.35%,使短路电流密度提升1.10 mA/cm²以上。该叠层减反射方案实现了95.16%的超高双面率，对提升双玻组件的发电量具有重要意义。