材料基因组技术在集成电路材料研究中的应用进展 |
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引用本文: | 孔维悦,林紫威,李鑫,黄琪,朱雷.材料基因组技术在集成电路材料研究中的应用进展[J].功能材料与器件学报,2022(4):356-370. |
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作者姓名: | 孔维悦 林紫威 李鑫 黄琪 朱雷 |
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作者单位: | 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 |
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基金项目: | 国家重点研发计划项目(2020YFB0704502); |
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摘 要: | 传统材料科学的“试错式”研究方法日益成为限制现代材料工业发展与突破的瓶颈,而材料基因组技术作为材料科学研究的革新技术,可以加速新材料的研发和应用,缩减研究成本和周期,成为当下研究的热点。本文围绕材料基因组技术,介绍了高通量实验、高通量计算与材料数据库三大要素的主要内容和典型研究范例。重点梳理了材料基因组技术在集成电路领域的研究进展,指出了集成电路材料研发的复杂性和广阔的可优化空间,提出了要结合材料基因组技术加速集成电路材料的创新,促进未来集成电路材料领域的发展。
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关 键 词: | 材料基因组 高通量实验 高通量计算 材料数据库 集成电路材料 |
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