一种低功耗高可靠性的浮栅型分栅闪存器件

本文介绍了一种新型的低功耗、高可靠性的浮栅型分栅闪存器件，并对该闪存器件的制备工艺、耐久性、数据保持、编程串扰等特性进行了研究。结果显示该闪存器件具有优异的耐久性、数据保持、抗编程串扰特性，在工业控制、物联网、汽车电子等要求高可靠性、低功耗的应用领域，具有良好的市场前景。