薄膜应力造成基片弯曲变形的力学分析

针对平板力学理论结构进行分析,研究薄膜应力造成基片弯曲变形的数学结构与力学行为。推算出两者间精确解与Stoney公式比较,探讨两者推导机制差异,进一步分析Stoney公式误差原因。利用电脑软件ABAQUS建立合理模型来提供数值解,探讨数学模式的正确性。