| 位置敏感探测器在转角测量中的应用 |
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| 引用本文： | 程继伟,巩马理,贾维溥,刘兴占,闫平,张海涛.位置敏感探测器在转角测量中的应用[J].传感器与微系统,2002,21(10):40-42. |
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| 作者姓名： | 程继伟 巩马理 贾维溥 刘兴占 闫平 张海涛 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系统可实现 30°二维转角测量 ,分辨力为 30″。
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| 关 键 词： | 位置敏感探测器 激光扫描器 转角测量 PSD 位置传感器 |
| 文章编号： | 1000-9787(2002)10-0040-03 |
| 修稿时间： | 2002年5月20日 |
Application of position sensitive detector in tilted angle measuement |
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| CHENG Ji-wei,GONG Ma-li,JIA Wei-pu,LIU Xing-zhan,YAN Ping,ZHANG Hai-tao.Application of position sensitive detector in tilted angle measuement[J].Transducer and Microsystem Technology,2002,21(10):40-42. |
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| Authors: | CHENG Ji-wei GONG Ma-li JIA Wei-pu LIU Xing-zhan YAN Ping ZHANG Hai-tao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | position sensitive detector(PSD) laser scanner tilted angle measurement |
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