| 基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状 |
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| 引用本文： | 荣伟彬,曲东升,孙立宁.基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状[J].微纳电子技术,2003,40(7):590-594. |
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| 作者姓名： | 荣伟彬 曲东升 孙立宁 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2001AA422120);国防基础科研项目 |
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| 摘 要： | 微操作手是微操作机器人的重要组成部分，首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手。在此基础上，对于微操作手的关键技术，从机构、驱动、传感、检测几个方面进行了论述，在机构上，介绍了微位移定位机构的特点；在驱动方式上，论述了压电陶瓷的驱动方法；在微位移检测上，介绍了几种纳米微位移检测手段。最后，阐述了微操作手的发展趋势：微型化、集成化、智能化，达到纳米级或更高的定位精度。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 微操作手 微操作机器人 纳米定位 微机电系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0590-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Current situation in the development of micromanipulator driven by piezoelectric actuator |
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