| 一种适用于MEMS陀螺仪的高性能电容读出电路 |
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| 引用本文： | 吴其松,杨海钢,张翀,尹韬.一种适用于MEMS陀螺仪的高性能电容读出电路[J].仪器仪表学报,2010,31(4). |
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| 作者姓名： | 吴其松 杨海钢 张翀 尹韬 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所,北京,100190
2. 中国科学院电子学研究所,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100049 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器,提出了一种新颖的电容读出电路结构,该结构对共模电压漂移不敏感,能消除电容不匹配引入的误差.相关双采样(CDS)技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响.采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型,用于读出电路与微传感器的联合仿真.读出电路在0.35 μm 2P4M标准CMOS工艺下设计流片,芯片面积为2.5 mm×2.5 mm,5 V电源电压,电路工作在500 kHz的时钟频率下,实现了1.5 aF/Hz1/2的电容分辨率和大于100 dB的动态范围.
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| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 电容读出电路 相关双采样 |
High-performance capacitive readout circuit for MEMS gyroscope |
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| Wu Qisong,Yang Haigang,Zhang Chong,Yin Tao.High-performance capacitive readout circuit for MEMS gyroscope[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2010,31(4). |
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| Authors: | Wu Qisong Yang Haigang Zhang Chong Yin Tao |
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